Inneal sputtering Magetron
-
Inneal còmhdach sputtering magnetron film tana falamh
Is e innleachd sputtering magnetron falamh a bhith a’ cleachdadh an uachdar electrode boireann, bipolar le raon magnetach an dealan ann an gluasad uachdar catod, le bhith a ’suidheachadh an raon dealain uachdar targaid ceart-cheàrnach ris an raon magnetach, bidh an dealan ag àrdachadh stròc, ag àrdachadh ìre ionization den ghas, fhad ‘s a bhios na gràinean àrd-lùth a’ gas agus a’ call lùth às deidh an tubaist agus mar sin teòthachd an t-substrate nas ìsle, còmhdach iomlan air stuth neo-teodhachd.
-
Siostam sputtering magnetron tasgadh falamh
Is e seòrsa de uidheamachd falamh a th’ ann an siostam sputtering magnetron tasgadh falamh a dh’ fhaodar a chleachdadh airson sreathan còmhdach film tana a chuir an sàs air diofar stuthan amh le còmhdach meatailteach no gnìomh.
-
Inneal còmhdach sputtering Magnetron airson sgeinean plastaig cuidhteasach
Tha sputtering Magnetron na theicneòlas tasgaidh film tana a thathas a’ cleachdadh gu farsaing an-dràsta.Le leasachadh leantainneach air teicneòlas sputtering agus rannsachadh filmichean gnìomh ùra, chaidh cleachdadh magnetron sputtering a leudachadh gu iomadh raon cinneasachaidh agus rannsachadh saidheansail.Mar theicneòlas còmhdach neo-teirmeach ann an raon microelectronics, tha e air a chleachdadh sa mhòr-chuid ann an tasgadh bhalbhaichean ceimigeach (CVD) no tasgadh bhalbhaichean ceimigeach organach meatailt (MOCVD) gus filmichean tana de stuthan a tha duilich fàs agus mì-fhreagarrach a thasgadh, agus as urrainn fhaighinn. filmichean tana glè èideadh ann an raointean mòra.
